Caracterización óptica por espectro-goniometría automática

Resumen

Trata la caracterización óptica de una superficie en términos de los parámetros ópticos: índice de refracción real n, coeficiente de extinción k y el espesor d de un recubrimiento en caso de existencia de este. La caracterización se centra en las parámetros referidos al substrato y al recubrimiento. El trabajo experimental y desarrollo analíticos se basan en la espectrogoniometría automática como técnica básica, consistente en poder medir en un haz luminoso reflejado o transmitido la longitud de onda y los ángulos de incidencia y observación a la muestra, en forma independiente y en barridos de datos automatizados. Se aborda una clasificación y revisión de los métodos convencionales en un contexto general relacionado con técnicas fotométricas e interferométricas. A esta revisión se añaden aspectos no considerados habitualmente y que perturban las metodologías más convencionales como puedan ser la rugosidad en superficies, la inhomogenidad y la anisotropía. En particular se define el concepto de extremo de envolvente en una curva fotométrica para tratar apropiadamente los datos con recubrimientos de un cierto grosor (mayor o igual a 0.2 micro m). Se introducen nuevos métodos de análisis no considerados hasta la fecha (métodos direnea, direnadal y dircofret fundamentalmente). Por último se mejoran métodos de análisis ya introducidos anteriormente como pueda ser el método vamfo.