Recubrimientos ópticos de banda estrecha en el ultravioleta extremo basados en la caracterización de nuevos materiales

Resumen

El desarrollo de recubrimientos ópticos en los intervalos espectrales conocidos como ultravioleta lejano (FUV) y ultravioleta extremo (EUV) ha estado limitado por la alta absorción de los materiales y la ausencia de fuentes de radiación intensas que emitan en este intervalo. Sin embargo, el continuo desarrollo de las aplicaciones tecnológicas de estos recubrimientos, ha aumentado el interés de la comunidad científica por el desarrollo de sistemas ópticos más eficientes en el FUV/EUV. Algunos de los campos de aplicación de los recubrimientos en el FUV/EUV son la instrumentación para astronomía y para física solar, la litografía en el EUV, el diagnóstico de plasmas y las instalaciones sincrotrón, entre otros. Para el diseño de recubrimientos ópticos adecuados es necesario un buen conocimiento de las constantes ópticas de los materiales en lámina delgada. En el FUV/EUV hay muchos materiales que aún no han sido caracterizados, y otros en los que las condiciones de caracterización no eran las adecuadas. Por tanto, uno de los objetivos de esta tesis doctoral es la búsqueda y caracterización óptica de materiales con baja absorción en intervalos del EUV, con el fin de disponer de materiales candidatos para recubrimientos ópticos en el FUV/EUV. Los materiales caracterizados fueron el Pr, el Eu, el Tm y el Mg. Por otra parte, hemos medido la reflectancia de láminas de B preparadas por evaporación, que ha resultado ser comparable con la de otros materiales que se utilizan habitualmente, tales como SiC y B4C, y que se depositan por pulverización. El otro objetivo de esta tesis doctoral es el diseño, preparación y caracterización de unos nuevos filtros de reflectancia de banda estrecha basados en lantánidos centrados en el EUV, donde no existían previamente este tipo de recubrimientos. Las constantes ópticas de los materiales utilizados proceden tanto de trabajos de caracterización previos del Grupo de Óptica de Láminas Delgadas como de trabajos realizados dentro de esta tesis.