Dispositivo electroóptico y método para obtener haces iónicos de gran densidad y baja energía

Resumen

Dispositivo electroóptico y método para obtener haces iónicos de gran densidad y baja energía.

Se describe un dispositivo electroóptico formado por tres elementos consecutivos: una primera lente Einzel, un elemento cilíndrico y una segunda lente Einzel, cuyo uso permite enfocar y frenar haces iónicos de gran densidad y energía. Esto se lleva a cabo mediante la utilización de pulsos de voltaje aplicados al elemento cilíndrico mientras es atravesado por los iones. Paralelamente, el uso de las dos lentes Einzel permite enfocar el haz de iones y asegurar una gran densidad de corriente en el plano imagen.

Este dispositivo resulta de gran utilidad en aplicaciones espectroscópicas y analíticas para detectar especies iónicas con gran resolución y sensibilidad, así como en otros usos más tecnológicos como el grabado o la implantación iónica en la industria de semiconductores u otras similares.