Modelos difractivo-interferometricos utilizables en el control automático de diámetro de hilos

Zusammenfassung

En este trabajo se aborda la medida precisa del diámetro de hilos cilíndricos delgados (30-500 um) mediante difracción. Para ello se repasan los modelos clásicos de difracción y se incorpora una técnica de calibración interferométrica que sirve de la validación a los modelos de difracción propuestos. La conclusión más importante que se extrae de este trabajo teórico-experimental, es la necesidad de aplicar correcciones al modelo clásico de difracción y que permiten medir de manera precisa y fiable el diámetro de hilos con una incertidumbre de hasta 0,02 um, independiente del diámetro medido.