Estudio de la interacción de oxígeno con superficies de GaAs (111) y de su activación por bombardeo electrónico

Resum

El estudio mediante auger electron spectroscopy (aes) de la interacción de oxigeno con superficies polares de 62as (111) caras (111) y (111) permite distinguir tres etapas en el proceso: adsorción peroxidación y oxidación. En las dos primeras se ha analizado el papel desempeñado por el estado de la superficie y por distintos tipos de activación electrónica. La irradiación electrónica activa el proceso pudiendo incrementar su cinética hasta en dos ordenes de magnitud. Las características de la superficie (orientación grado de defectos modo de preparación) determina el modo en que se incorpora el oxigeno al sustrato (sobre la superficie o bajo las primera o segunda capas superficiales). Han sido investigadas las características de la oxidación activada electrónicamente como técnica de escritura directa.