Síntesis de láminas de diamante poli-cristalino mediante deposición química en fase vapor por llama de combustión de acetileno

Zusammenfassung

El método de dqfv activado por la combustión de acetileno es posiblemente, desde el punto de vista del equipamiento que requiere, el mas sencillo de los métodos para depositar diamante. Las cámaras de reacción de los otros métodos de dqfv, necesarias para mantener una baja presión, consisten en este en el interior de una llama ardiendo a presión atmosférica. Esta llama se forma por la combustión de una mezcla de acetileno con oxigeno con un ligero exceso del primero; este exceso impide una combustión completa y crea las especies de hidrocarburos y el hidrogeno atómico necesarios para la deposición de diamante. Entre sus características mas destacables de este método se puede mencionar su elevado rendimiento si se tiene en cuenta su elevada capacidad de producción junto con el bajo coste de equipamiento, mantenimiento, consumo energético y de material. La calidad de las laminas de diamante obtenidas se suele entender como la proporción de diamante respecto del carbono total. Esta calidad suele medirse mediante la espectroscopia raman, pero hemos completado esta información por otras técnicas como espectroscopia auger y absorción de rayos x, ya que existen algunas diferencias entre la calidad medida por distintas técnicas. Se realizaron también caracterizaciones basadas mas directamente en las posibles aplicaciones, como fueron la medida electroquímica del comportamiento del substrato recubierto de diamante en un medio agresivo, la medida de la conductividad, las perdidas dieléctricas en campos alternos, la medida del índice de refracción y trasmitancia en el infrarrojo de las laminas de diamante obtenidas. Tanto en la caracterización morfológica y de composición como en estas ultimas, se ha demostrado que la dqfv mediante llama de acetileno produce laminas de diamante policristalino de muy buena calidad, mas del 95% de pureza, y aptas para potenciales aplicaciones industriales: recubrimientos protectores, microelectrónica, etc.