Design and development of a computer control system for a 250 k V ion implanter
- J.M. Martín 1
- F. Kaduch 1
- G. González Díaz 1
- 1 Universidad Complutense, Facultad de CC. Físicas, Departamento de Electricidad y Electrónica
ISSN: 1133-0376
Datum der Publikation: 1993
Ausgabe: 89
Nummer: 2
Seiten: 91-96
Art: Artikel