Growth of nanocolumnar thin films on patterned substrates at oblique angles

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Revista:
Plasma Processes and Polymers

ISSN: 1612-8869 1612-8850

Año de publicación: 2019

Volumen: 16

Número: 2

Tipo: Artículo

DOI: 10.1002/PPAP.201800135 GOOGLE SCHOLAR