Micro-opto-electro-mechanical device based on flexible β-Ga2O3 micro-lamellas

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Zeitschrift:
ECS Journal of Solid State Science and Technology

ISSN: 2162-8777,  2162-8769

Datum der Publikation: 2019

Ausgabe: 8

Nummer: 7

Seiten: Q3235-Q3241

Art: Artikel

DOI: 10.1149/2.0441907JSS GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor
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