Towards metal electrode interface scavenging of rare-earth scandates: A Sc2O3 and Gd2O3 study

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Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Año de publicación: 2011

Volumen: 88

Número: 7

Páginas: 1357-1360

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1016/J.MEE.2011.03.025 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor