Scandium oxide deposited by high-pressure sputtering for memory devices: Physical and interfacial properties

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  5. Lucía, M.L.
Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Año de publicación: 2010

Volumen: 107

Número: 8

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.3354096 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor
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