Growth of silicon nitride on silicon by electron cyclotron resonance plasma nitridation
- Del Prado, A.
- Toledano-Luque, M.
- Andrés, E.S.
- Feijoo, P.C.
- Lucía, M.L.
Actas:
Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices, CDE'09
ISBN: 9781424428397
Año de publicación: 2009
Páginas: 16-18
Tipo: Aportación congreso