High-pressure reactively sputtered Hf O2: Composition, morphology, and optical properties

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Zeitschrift:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Datum der Publikation: 2007

Ausgabe: 102

Nummer: 4

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.2769959 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor