Optical and structural properties of SiOxNyHz films deposited by electron cyclotron resonance and their correlation with composition

  1. Del Prado, A.
  2. Andrés, E.S.
  3. Mártil, I.
  4. González-Diaz, G.
  5. Bravo, D.
  6. López, F.J.
  7. Bohne, W.
  8. Röhrich, J.
  9. Selle, B.
  10. Martínez, F.L.
Zeitschrift:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Datum der Publikation: 2003

Ausgabe: 93

Nummer: 11

Seiten: 8930-8938

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.1566476 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor
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