Compositional analysis of amorphous SiNx:H films by ERDA and infrared spectroscopy

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Zeitschrift:
Surface and Interface Analysis

ISSN: 0142-2421

Datum der Publikation: 2000

Ausgabe: 30

Nummer: 1

Seiten: 534-537

Art: Artikel

DOI: 10.1002/1096-9918(200008)30:1<534::AID-SIA832>3.0.CO;2-C GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus