Thermally induced changes in the optical properties of SiNx:H films deposited by the electron cyclotron resonance plasma method

  1. Martínez, F.L.
  2. Del Prado, A.
  3. Mártil, I.
  4. González-Díaz, G.
  5. Selle, B.
  6. Sieber, I.
Zeitschrift:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Datum der Publikation: 1999

Ausgabe: 86

Nummer: 4

Seiten: 2055-2061

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.371008 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus