Shallow junctions in p-In.53Ga.47As by ion implantation

  1. Blanco, M.N.
  2. Redondo, E.
  3. León, C.
  4. Santamaría, J.
  5. González-Díaz, G.
Zeitschrift:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 1999

Ausgabe: 147

Nummer: 1-4

Seiten: 166-170

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0168-583X(98)00606-5 GOOGLE SCHOLAR
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