Dependence of the physical properties of SiNx:H films deposited by the ECR plasma method on the discharge size

  1. Garcia, S.
  2. Martin, J.M.
  3. Martil, I.
  4. Gonzalez-Diaz, G.
Aldizkaria:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Argitalpen urtea: 1998

Alea: 315

Zenbakia: 1-2

Orrialdeak: 22-28

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/S0040-6090(97)00374-X GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus