Optimization of scandium oxide growth by high pressure sputtering on silicon
- Feijoo, P.C.
- Pampillón, M.A.
- San Andrés, E.
- Lucía, M.L.
Revista:
Thin Solid Films
ISSN: 0040-6090
Any de publicació: 2012
Volum: 526
Pàgines: 81-86
Tipus: Article