Nano-laminate vs. direct deposition of high permittivity gadolinium scandate on silicon by high pressure sputtering

  1. Feijoo, P.C.
  2. Pampillón, M.A.
  3. San Andrés, E.
  4. Fierro, J.L.G.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Año de publicación: 2015

Volumen: 593

Páginas: 62-66

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.TSF.2015.07.045 GOOGLE SCHOLAR
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