Charge pumping spectroscopy: HfSiON defect study after substrate hot electron injection

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Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Año de publicación: 2007

Volumen: 84

Número: 9-10

Páginas: 1943-1946

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.MEE.2007.04.070 GOOGLE SCHOLAR
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