Uncertainty contribution of different Phase Shifting Algorithms in gauge block interferometric calibration

  1. Alvarez-Valado, V.
  2. González-Jorge, H.
  3. Dorrío, B.V.
  4. Rodríguez, F.
  5. Valencia, J.L.
  6. Rodríguez, J.
  7. Yebra, F.J.
Actas:
Proceedings of the 9th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2009

ISBN: 9780955308260

Año de publicación: 2009

Volumen: 2

Páginas: 207-210

Tipo: Aportación congreso