Automatic optical sensor for thickness control of thin transparent films

  1. González-Cano, A.
  2. Bernabéu, E.
Revista:
Sensors and Actuators: A. Physical

ISSN: 0924-4247

Año de publicación: 1993

Volumen: 37-38

Número: C

Páginas: 561-564

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0924-4247(93)80096-Y GOOGLE SCHOLAR
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