Enhancement of surface inspection by Moiré interferometry using flexible reference gratings

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Zeitschrift:
Optics Express

ISSN: 1094-4087

Datum der Publikation: 2001

Ausgabe: 8

Nummer: 12

Seiten: 649-654

Art: Artikel

DOI: 10.1364/OE.8.000649 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus