Deposition reactors for solar grade silicon: A comparative thermal analysis of a Siemens reactor and a fluidized bed reactor

  1. Ramos, A.
  2. Filtvedt, W.O.
  3. Lindholm, D.
  4. Ramachandran, P.A.
  5. Rodríguez, A.
  6. Del Cañizo, C.
Revista:
Journal of Crystal Growth

ISSN: 0022-0248

Año de publicación: 2015

Volumen: 431

Páginas: 1-9

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.JCRYSGRO.2015.08.023 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor