Heat losses in a CVD reactor for polysilicon production: Comprehensive model and experimental validation

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Revista:
Journal of Crystal Growth

ISSN: 0022-0248

Año de publicación: 2014

Volumen: 402

Páginas: 138-146

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.JCRYSGRO.2014.05.020 GOOGLE SCHOLAR

Objetivos de desarrollo sostenible