Tunable MEMS piezoelectric energy harvesting device

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Zeitschrift:
Microsystem Technologies

ISSN: 0946-7076

Datum der Publikation: 2016

Ausgabe: 22

Nummer: 4

Seiten: 823-830

Art: Artikel

DOI: 10.1007/S00542-015-2455-1 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus