Resonance frequency dependence on out-of-plane forces for square silicon membranes: Applications to a MEMS gradiometer

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Revista:
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ISSN: 0924-4247

Año de publicación: 2010

Volumen: 163

Número: 1

Páginas: 75-81

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.SNA.2010.07.012 GOOGLE SCHOLAR
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