Estudio de la nucleación y el crecimiento de láminas de diamante

Laburpena

En este trabajo se ha estudiado el proceso de deposición de películas de diamante por MJCVD sobre obleas de silicio pulidas. Con el fin de aumentar la densidad de nucleación se ha sometido el sustrato a dos tratamientos previos: rayado y aplicación de un voltaje. Se han estudiado ambos tratamientos utilizando técnicas de análisis de alta resolución como la espectroscopía XANES y la microscopía de fuerzas (AFM). Se ha establecido un modelo de nucleación capaz de explicar los resultados experimentales obtenidos. También se ha estudiado la influencia de la composición de la mezcla gaseosa en la etapa de crecimiento. Por último, se ha investigado el efecto de la adición de O2 a la mezcla de CH4 y H2, donde se muestra la posibilidad de conseguir velocidades de desposición más altas, manteniendo la calidad de las películas, mediante la adición de pequeñas cantidades de oxígeno. Este resultado se atribuye al mayor aporte de especies que contienen carbono, así como a la presencia de nuevas especies atancantes de la componente no-diamante de las películas..