Nitruro de silicio de la lámina delgada a las uniones cerámicas

Zusammenfassung

Las uniones cerámicas/metal desempeñan un papel cada vez más relevante en diversas áreas. Los problemas que presentan las uniones disimilares son debidos a la diferencia tanto entre los módulos de elasticidad, como a la aparición, durante el enfriamiento desde la temperatura de unión, de tensiones térmicas elevadas debido a los fuertes desajustes en los coeficientes de expansión térmica. El objetivo del presente trabajo de investigación es utilizar capas del tipo FGM intercaladas, de forma que se obtenga un gradiente continuo en el coficiente de expansión térmica en uniones de nitruro de silicio y metal con base níquel para la consiguiente reducción de las tensiones térmicas en la interfaz. Para la realización de las FGM y la posterior obtención de las uniones entre le nitruro de silicio y metales de interés tecnológico, ha sido necesario el aprendizaje en la preparación de láminas delgadas usando la técnica de pulverización catódica, a la cual nos referiremos como comúnmente se la llama, sputtering. Esto conlleva el estudio detallado del crecimiento en forma de lámina delgada del compuesto que forma el material cerámico y un estudio completo de sus propiedades que por regla general no han de ser las mismas que las del material en volumen.