Fabricación de guías de onda planas y acanaladas en LiNbO3 mediante difusión de Zn desde la fase vapor

Abstract

En el trabajo de tesis doctoral se describe un nuevo proceso de fabricación de guías de onda basadas en LiNbO3. La novedad más importante del trabajo es la consideración de dos etapas en el proceso de fabricación de las guías de onda. El nuevo método de fabricación desarrollado salva las desventajas de las técnicas estándar de fabricación de guías de onda en LiNbO3, como son la difusión de Titanio el intercambio protónico y la implantación iónica, por lo que resulta de especial interés en el campo de la óptica integrada.