Optimization of sub-melt laser anneal: Performance and reliability

1. Severi, S.
2. Augendre, E.
3. Thirupapuliyur, S.
4. Ahmed, K.
5. Felch, S.
6. Parihar, V.
7. Nouri, F.
8. Hoffman, T.
9. Noda, T.
10. O'Sullivan, B.
11. Ramos, J.
12. Andres, E. San
13. Pantisanoa, L.
14. De Keersgieter, A.
15. Schreutelkamp, R.
16. Jennings, D.
17. Mahapatra, S.
18. Moroz, V.
19. De Meyer, K.
20. Absil, P.
21. Jurczak, M.
22. Biesemans, S.