Efficient OASIS.MASK Reader

  1. Morales, Domingo
  2. Pablo Canepa, Juan
  3. Cohen, Daniel
Colección de libros:
PHOTOMASK AND NEXT-GENERATION LITHOGRAPHY MASK TECHNOLOGY XVII
  1. Hosono, K (coord.)

ISSN: 0277-786X

ISBN: 978-0-8194-8238-9

Año de publicación: 2010

Volumen: 7748

Congreso: Conference on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XVII

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.866029 GOOGLE SCHOLAR

Objetivos de desarrollo sostenible

Fuente de los datos: WoS