Tin fluid dynamics driven by laser-produced plasmas relevant to EUV nanolithography

  1. Hemminga, D.J.
  2. Poirier, L.
  3. Hernandez-Rueda, J.
  4. Liu, B.
  5. Lassise, A.
  6. Hoekstra, R.
  7. Sheil, J.
  8. Versolato, O.O.
Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 1996-756X,  0277-786X

ISBN: 9781510660953

Año de publicación: 2023

Volumen: 12494

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.2657496 GOOGLE SCHOLAR
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