Native Oxide Layer Role during Cryogenic-Temperature Ion Implantations in Germanium

  1. Caudevilla, D.
  2. Pérez-Zenteno, F.J.
  3. Duarte-Cano, S.
  4. Algaidy, S.
  5. Benítez-Fernández, R.
  6. Godoy-Pérez, G.
  7. Olea, J.
  8. San Andrés, E.
  9. García-Hernansanz, R.
  10. del Prado, Á.
  11. Mártil, I.
  12. Pastor, D.
  13. García-Hemme, E.
Revista:
Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science

ISSN: 1862-6319,  1862-6300

Ano de publicación: 2024

Tipo: Artigo

DOI: 10.1002/PSSA.202400124 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso aberto editor
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