PROCEDIMIENTO DE FABRICACION DE UN SENSOR MAGNETICO HIBRIDO PIEZOELECTRICO-FERROMAGNETICO.

Resumen

Procedimiento de fabricación de un sensor magnético híbrido piezoeléctrico-ferromagnético. Se refiere a un proceso completo de fabricación de un sensor híbrido de material ferromagnético y de piezoeléctrico. Se caracteriza este procedimiento porque utiliza dos técnicas diferentes: crecimiento electrolítico de una interfase de material no magnético, como el cobre, sobre el material piezoeléctrico y posterior pulido por el mismo método, y crecimiento por deposición catódica del material ferromagnético sobre el material piezoeléctrico. Este procedimiento permite eliminar la interfase viscosa utilizada hasta ahora en este tipo de sensores magnéticos y mejorar así el acoplamiento mecánico entre el material ferromagnético y el piezoeléctrico que constituyen el sensor. Con este procedimiento se consigue aumentar la sensibilidad, la estabilidad con el tiempo, reducir la histéresis del sensor mediante la propia vibración y facilitar el proceso repetitivo de fabricación para su desarrollo industrial.