Thin high-k dielectric layers deposited by ALD

  1. Campabadal, F.
  2. Zabala, M.
  3. Rafi, J.M.
  4. Acero, M.C.
  5. Sánchez, A.
  6. Sánchez, J.
  7. Sánchez, S.
  8. Andreu, R.
Actes de conférence:
Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices, CDE'09

ISBN: 9781424428397

Année de publication: 2009

Pages: 27-30

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1109/SCED.2009.4800421 GOOGLE SCHOLAR
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