Deposition of Cu films from supercritical fluids using Cu(I) β-diketonate precursors

  1. Cabañas, A.
  2. Blackburn, J.M.
  3. Watkins, J.J.
Aldizkaria:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Argitalpen urtea: 2002

Alea: 64

Zenbakia: 1-4

Orrialdeak: 53-61

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1016/S0167-9317(02)00783-9 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus