Surface modifications in amorphous carbon films exposed to nitrogen plasma

  1. Freire Jr., F.L.
  2. Castañeda, S.I.
  3. Prioli, R.
Zeitschrift:
Diamond and Related Materials

ISSN: 0925-9635

Datum der Publikation: 2007

Ausgabe: 16

Nummer: 4-7 SPEC. ISS.

Seiten: 1282-1285

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.DIAMOND.2006.11.026 GOOGLE SCHOLAR