Effects of air exposure on ion beam assisted TiN:O coatings to prevent multipactor

  1. Castañeda, S.I.
  2. Díaz, N.
  3. Raboso, D.
  4. Montero, I.
  5. Galán, L.
  6. Rueda, F.
Zeitschrift:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 0734-2101

Datum der Publikation: 2003

Ausgabe: 21

Nummer: 6

Seiten: 2007-2012

Art: Artikel

DOI: 10.1116/1.1621403 GOOGLE SCHOLAR