Effect of total pressure on the formation and size evolution of silicon quantum dots in silicon nitride films
- Rezgui, B.
- Sibai, A.
- Nychyporuk, T.
- Lemiti, M.
- Bremond, G.
- Maestre, D.
- Palais, O.
Revista:
Applied Physics Letters
ISSN: 0003-6951
Año de publicación: 2010
Volumen: 96
Número: 18
Tipo: Artículo