Micro-opto-electro-mechanical device based on flexible β-Ga2O3 micro-lamellas

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Revista:
ECS Journal of Solid State Science and Technology

ISSN: 2162-8777 2162-8769

Año de publicación: 2019

Volumen: 8

Número: 7

Páginas: Q3235-Q3241

Tipo: Artículo

DOI: 10.1149/2.0441907JSS GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor