Composition and optical properties of silicon oxynitride films deposited by electron cyclotron resonance

  1. Del Prado, A.
  2. San Andrés, E.
  3. Martínez, F.L.
  4. Mártil, I.
  5. González-Díaz, G.
  6. Bohne, W.
  7. Röhrich, J.
  8. Selle, B.
  9. Fernández, M.
Aldizkaria:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Argitalpen urtea: 2002

Alea: 67

Zenbakia: 3-4

Orrialdeak: 507-512

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1016/S0042-207X(02)00220-8 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus