Composition and optical properties of silicon oxynitride films deposited by electron cyclotron resonance

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Revue:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Année de publication: 2002

Volumen: 67

Número: 3-4

Pages: 507-512

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1016/S0042-207X(02)00220-8 GOOGLE SCHOLAR
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