Concurrent segregation and erosion effects in medium-energy iron beam patterning of silicon surfaces
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- Muñoz, A.
- Castro, M.
- Muñoz-García, J.
- Cuerno, R.
- Vázquez, L.
ISSN: 1361-648X, 0953-8984
Datum der Publikation: 2018
Ausgabe: 30
Nummer: 27
Art: Artikel