Self-organized nanopatterning of silicon surfaces by ion beam sputtering

  1. Muñoz-García, J.
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  4. Gago, R.
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  7. Cuerno, R.
Zeitschrift:
Materials Science and Engineering R: Reports

ISSN: 0927-796X

Datum der Publikation: 2014

Ausgabe: 86

Seiten: 1-44

Art: Rezension

DOI: 10.1016/J.MSER.2014.09.001 GOOGLE SCHOLAR