Pyramid-like nanostructures created by Si homoepitaxy on Si(0 0 1)

  1. Galiana, N.
  2. Martin, P.P.
  3. Munuera, C.
  4. Varela, M.
  5. Ocal, C.
  6. Alonso, M.
  7. Ruiz, A.
Aldizkaria:
Materials Science in Semiconductor Processing

ISSN: 1369-8001

Argitalpen urtea: 2009

Alea: 12

Zenbakia: 1-2

Orrialdeak: 52-56

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/J.MSSP.2009.07.016 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus