Development of a data acquisition and control system for thin film deposition equipment and its application to metals-MBE
- Martín, P.P.
- Alonso, C.E.
- Domingo, I.
- Ruiz, A.
ISSN: 0042-207X
Any de publicació: 2002
Volum: 64
Número: 3-4
Pàgines: 373-379
Tipus: Article