High pressure sputtering for kigh-k dielectric deposition. Is it worth trying?
- San Andrés, E.
- Feijoo, P.C.
- Pampillón, M.A.
- Lucía, M.L.
- Del Prado, A.
ISSN: 1938-6737, 1938-5862
Datum der Publikation: 2014
Ausgabe: 61
Nummer: 2
Seiten: 27-39
Art: Konferenz-Beitrag