Physical properties of high pressure reactively sputtered hafnium oxide

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Revista:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Año de publicación: 2008

Volumen: 82

Número: 12

Páginas: 1391-1394

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.VACUUM.2008.03.083 GOOGLE SCHOLAR